產品介紹
- 埠數：1
- 手臂：對應6"&8"&12"
- 晶圓：對應6"&8"&12"
- Pre-aligner：對應6"&8"&12" (RSM 自製)
- 功能：對傳
- WPH (對傳)：380 pcs
- WPH (經 OCR)：150 pcs
機台規格
- 埠數：3
- 取放距離：450mm
- 晶圓 (150mm)：Warpage±0.5mm, 厚度500~700 μm
- 晶圓 (200mm)：Warpage±0.5mm, 厚度500~700 μm
- 晶圓 (300mm)：Warpage±1mm, 厚度650~1000 μm
- 重複精度：±0.1mm
- 電源：AC220V-3Phases-30A
- 流量 (正壓)：100L/min
- 流量 (負壓)：200L/min
- 潔淨度：Class 100
- 軟體介面：IPC SECS/GEM 通訊
- 選配：OCR模組、條碼讀取器、Sorter功能
