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半導體產業

OM-半自動檢測機

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OM-半自動檢測機-封面圖

機台規格

  • 型號：OM250
  • 設備電源：AC220V-1Φ-12A
  • 設備尺寸：998 × 430 × 1630 mm
  • 軟體介面：PC + HMI
  • 防護機制：Inter Lock
  • 顯微鏡組：OLYMPUS / OM
  • 系統軟體：SCEC/GEM 通訊

產品類別

  • 平台尺寸：420 × 420 mm
  • 產品：Wafer / IC 載板
  • 治具：依照不同產品別固定

設備功能

  • a半自動檢測
  • b雲端連線 Mapping
  • c紀錄產品別製程參數
  • d開放修改參數
OM-半自動檢測機-設備作業畫面
OM-半自動檢測機-設備作業畫面
OM-半自動檢測機-設備作業畫面
OM-半自動檢測機-設備作業畫面