機台規格
- 型號：WFU
- 設備電源：AC220V-3Φ-25A
- 設備尺寸：1800 × 1370 × 1930 mm
- 軟體介面：PC + HMI
- 防護機制：Inter Lock
- 條碼讀取：2D Barcode reader
- 條碼判別：Cognex CCD
- 系統軟體：SCEC/GEM 通訊
- 檢測規格：LineScan / 10um AOI
- UPH：30 pcs（8" wafer） / 25 pcs（12" wafer）
產品類別
- 裝載：Wafer Metal Frame
- 產品：Wafer
- Frame Size：8"-12"
設備功能
- aMetal RFID Reader
- bWafer Barcode read 2D
- cRing mapping
- d斜插 / 凸片 Scan
- eWafer LineScan
- fWafer AOI μm
- g正 / 反面翻轉檢測
- hKeyence 靜電消除器
- i設備作業影像監控（內/外）
